| 专利名称 | 三维玻璃光波导制备方法 | 申请号 | CN201310146558.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103676001A | 公开（授权）日 | 2014.03.26 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明（设计）人 | 祁志美;吴建杰;李金洋;逯丹凤 | 主分类号 | G02B6/134(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B6/134(2006.01)I;G02B6/136(2006.01)I | 专利有效期 | 三维玻璃光波导制备方法 至三维玻璃光波导制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种三维玻璃光波导制备方法，首先通过湿法刻蚀工艺或干法刻蚀工艺或激光微加工技术在钠钙玻璃基板上制备出脊型、槽型、台阶型中的一种或几种三维玻璃结构，然后对刻蚀后的玻璃基板进行离子交换得到脊型玻璃光波导或侧壁型玻璃光波导或脊型/侧壁型耦合式玻璃光波导。与常用的“先离子交换后刻蚀”制备三维玻璃光波导的方法相比，本发明的三维玻璃光波导制备方法在制作工艺上没有增添任何难度，而且能够显著缩短离子交换时间，进而能够抑制由离子交换引起的表面粗糙度增加，制得的三维玻璃光波导侧壁折射率对比度大，因而侧壁消逝场强，适合制作高灵敏度生化传感器和曲率半径小的光子器件。 |
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