| 专利名称 | 大口径光学元件表面损伤检测装置和相应的检测方法 | 申请号 | CN201310723796.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103674977A | 公开（授权）日 | 2014.03.26 | 申请（专利权）人 | 中国科学院自动化研究所 | 发明（设计）人 | 史亚莉;张正涛;张峰;陶显;徐德 | 主分类号 | G01N21/958(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N21/958(2006.01)I | 专利有效期 | 大口径光学元件表面损伤检测装置和相应的检测方法 至大口径光学元件表面损伤检测装置和相应的检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种大口径光学元件表面损伤检测装置，该装置主要包括：专用夹具，对待检测光学元件进行定位和夹紧；激光自准直仪，安装于可检测到待检测光学元件的位置，用于检测待检测光学元件的姿态信息；线阵相机组件，安装于可观测到待检测光学元件的位置，用于获取待检测光学元件表面局部缩小的线阵图像；显微镜组件，安装于可观测到待检测光学元件的位置，用于获取待检测光学元件表面局部放大的面阵图像；扫描聚焦组件，对于待检测光学元件表面进行扫描、定位和聚焦；数据采集处理系统，对于专用夹具和扫描聚焦组件的运动进行控制，并对接收到的图像进行存储、处理和图像损伤信息分析。本发明具有广泛的应用前景和可观的社会经济效益。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障