| 专利名称 | 双端固支压电梁式微型电场传感器 | 申请号 | CN201310491406.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103675480A | 公开（授权）日 | 2014.03.26 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明（设计）人 | 夏善红;冯可;佟建华;方东明 | 主分类号 | G01R29/12(2006.01)I | IPC主分类号 | G01R29/12(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I | 专利有效期 | 双端固支压电梁式微型电场传感器 至双端固支压电梁式微型电场传感器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种采用MEMS工艺制备的双端固支压电梁式微型电场传感器。所述双端固支压电梁式微型电场传感器包括：基底；以及传感器敏感结构，形成在所述基底上，具有呈栅状结构的多个双端固支梁。根据本发明的传感器具有结构简单、体积小的优点。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障