| 专利名称 | 微纳米尺度动态耦合振动的单点跟踪测量方法 | 申请号 | CN201310642439.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103645347A | 公开（授权）日 | 2014.03.19 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电工研究所 | 发明（设计）人 | 陈代谢;殷伯华;韩立;刘俊标;林云生;初明璋 | 主分类号 | G01Q60/24(2010.01)I | IPC主分类号 | G01Q60/24(2010.01)I | 专利有效期 | 微纳米尺度动态耦合振动的单点跟踪测量方法 至微纳米尺度动态耦合振动的单点跟踪测量方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种微纳米尺度动态耦合振动的单点跟踪测量方法。首先使AFM探针在未接触平板扫描器表面的情况下，驱动压电扫描器带动探针以一定频率和幅值进行X方向往复扫描运动，实时记录探针Z方向偏转以获得压电扫描器Z方向振动模态；然后通过自动进针及扫描器微调使探针与平板扫描器表面接触，再控制平板扫描器在X方向与探针同步运动，记录探针Z方向偏转以获得压电扫描器与平板扫描器同步运动振动模态；最后将记录的同步运动振动模态和压电扫描器振动模态相减，即可得平板扫描器某一位置点X方向运动引起的Z方向耦合振动模态。 |
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