| 专利名称 | 一种微纳米尺度耦合振动高分辨测量方法 | 申请号 | CN201310642547.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103645348A | 公开（授权）日 | 2014.03.19 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电工研究所 | 发明（设计）人 | 殷伯华;陈代谢;韩立;刘俊标;林云生;初明璋 | 主分类号 | G01Q60/24(2010.01)I | IPC主分类号 | G01Q60/24(2010.01)I | 专利有效期 | 一种微纳米尺度耦合振动高分辨测量方法 至一种微纳米尺度耦合振动高分辨测量方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种微纳米尺度耦合振动高分辨测量方法。该方法基于原子力显微镜AFM成像技术，首先使钝化的AFM探针与扫描器上的光滑样品表面接触，通过高压驱动器驱动扫描器带动样品做X轴方向往复扫描运动，利用光电探测器同步检测AFM探针Z轴方向偏转过程，实现扫描器X轴方向运动引起扫描器Z轴方向耦合振动的微纳米尺度高分辨测量。 |
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