| 专利名称 | 一种基于柔性衬底的传感器模块 | 申请号 | CN201310680558.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103645215A | 公开（授权）日 | 2014.03.19 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 梁圣法;李冬梅;李小静;张浩;罗庆;周磊;刘明;谢常青;杨洪璋 | 主分类号 | G01N27/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N27/00(2006.01)I;G01N27/22(2006.01)I;G01N27/04(2006.01)I | 专利有效期 | 一种基于柔性衬底的传感器模块 至一种基于柔性衬底的传感器模块 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种基于柔性衬底的传感器模块，该传感器模块包括传感器部分及天线部分，二者均以柔性绝缘材料为衬底，并通过导线或夹具连接，其中，传感器部分用于感知外部敏感信号，天线部分用于无线信号的传输及接收，二者结合实现在无线情况下对外部敏感信号的检测及传输。本发明以PI、PET等柔性绝缘材料为衬底，利用各种微电子微加工方法，将传感器及无线发射部分制作于其上并综合在一起，形成了无源无线可折叠且便携性高的组装的新型传感器模块。 |
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