高功率微波器件冷却通道的排气装置

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专利名称 高功率微波器件冷却通道的排气装置 申请号 CN201320497454.5 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN203477889U 公开(授权)日 2014.03.12 申请(专利权)人 中国科学院等离子体物理研究所 发明(设计)人 徐丽;徐旵东;吴大俊;王健;单家方 主分类号 F17D1/00(2006.01)I IPC主分类号 F17D1/00(2006.01)I 专利有效期 高功率微波器件冷却通道的排气装置 至高功率微波器件冷却通道的排气装置 法律状态 说明书摘要 本实用新型公开了一种高功率微波器件冷却通道的排气装置,包括有纯水罐和微波器件,所述的纯水罐的出水口依次连接有水泵、调节阀、流量计和开关阀一,在流量计和开关阀一之间的管路上设有压力表,所述的开关阀一还与所述的微波器件的冷却水入口连接,微波器件的冷却水出口上连接有开关阀二,所述的开关阀二还与纯水罐的进水口连接,与开关阀二并联连接的有开关阀三,在开关阀三的出口管上连接有排气阀。本实用新型可适用于各种高功率微波器件冷却通道的水冷排气,整套装置排气快速、操作方便,安全可靠,排气效果良好,在高功率微波测试过程中,微波器件能够被充分冷却,冷却通道内无气体存留。

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