| 专利名称 | 一种光刻式的3D打印机 | 申请号 | CN201310676063.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103631097A | 公开（授权）日 | 2014.03.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 马驰飞;王楠;陈昌龙;高洪涛;陈铭勇;严伟;胡松 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种光刻式的3D打印机 至一种光刻式的3D打印机 | 法律状态 | 著录事项变更 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种光刻式的3D打印机，属于光刻技术领域，包括：光源系统、图像系统、投影系统、机械系统、电控系统五个子系统。系统获取打印物体的三维模型数据，并按高度方向分解成厚度统一的薄层后，用图像系统生成每一薄层的曝光图形，在光源系统照明下，经投影系统投影成像，使曝光层的光刻胶固化，在机械系统夹持已固化光刻胶步进平移动作下完成三维扫描，得到高精度的三维实体。本发明的优点在于：系统区别于传统3D打印，提高了精度打印精度和效率，可靠性较高。 |
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