| 专利名称 | 一种超薄铝掺杂氧化锌透明导电薄膜及其制备方法 | 申请号 | CN201310590933.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103632754A | 公开（授权）日 | 2014.03.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 发明（设计）人 | 杨晔;王木钦;朱科;黄金华;兰品军;宋伟杰 | 主分类号 | H01B5/14(2006.01)I | IPC主分类号 | H01B5/14(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C30B28/12(2006.01)I;C30B29/16(2006.01)I | 专利有效期 | 一种超薄铝掺杂氧化锌透明导电薄膜及其制备方法 至一种超薄铝掺杂氧化锌透明导电薄膜及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种超薄铝掺杂氧化锌透明导电薄膜及其制备方法，该超薄铝掺杂氧化锌透明导电薄膜从下至上依次包括基片、AZO籽晶层和AZO主体层，AZO籽晶层厚度为5～20nm，AZO主体层厚度为100～180nm，该超薄铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的电阻率为2.9～9.7×10-4Ω·cm，380～780nm波长范围内的平均透过率为80～90%。本发明中通过合理设置氧气与氩气的体积比为0～1，能够制备超薄的AZO籽晶层（小于20nm），且形成完美（002）择优取向的高质量AZO籽晶层。本发明通过设置与AZO主体层同质的AZO籽晶层，提高薄膜的应力减小；且能够在温度不高于200℃的条件下制备厚度不超过200nm的超薄铝掺杂氧化锌透明导电薄膜，无需后续处理环节，节省生产能耗，降低了生产成本，提高了生产效率，适用于工业生产。 |
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