一种紫外光固化纳米压印聚合物模板的制备方法

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专利名称 一种紫外光固化纳米压印聚合物模板的制备方法 申请号 CN201310655957.5 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103631089A 公开(授权)日 2014.03.12 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 邓启凌;张满;史立芳;胡松;曹阿秀;秦燕云;李志炜 主分类号 G03F7/00(2006.01)I IPC主分类号 G03F7/00(2006.01)I 专利有效期 一种紫外光固化纳米压印聚合物模板的制备方法 至一种紫外光固化纳米压印聚合物模板的制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种紫外光固化纳米压印聚合物模板的制备方法,包括如下步骤:1)对表面含有浮雕纳米结构的纳米压印模板进行表面防粘处理;2)对一块刚性基片进行偶联处理;3)在步骤2)中经过偶联处理的刚性基片上涂覆一层巯基-烯材料;4)将步骤1)中经过防粘处理的纳米压印模板和步骤3)中的表面涂覆巯基-烯材料的刚性基片放置在纳米压印机中进行对准压印;5)利用紫外光将巯基-烯材料固化成型;6)纳米压印模板脱模后,对巯基-烯材料结构层进行表面防粘处理,制备获得纳米压印聚合物模板。本发明的显著特点是制备过程无需刻蚀和高真空条件,大大简化了制备工艺,降低了制作成本,促进了纳米压印聚合物模板在纳米结构制备领域的广泛应用。

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