| 专利名称 | 一种能自适应校正装调误差的四象限倾斜跟踪传感器 | 申请号 | CN201310538286.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103630250A | 公开（授权）日 | 2014.03.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 马晓燠;饶长辉;鲜浩;魏凯;田雨 | 主分类号 | G01J9/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01J9/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种能自适应校正装调误差的四象限倾斜跟踪传感器 至一种能自适应校正装调误差的四象限倾斜跟踪传感器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种能自适应校正装调误差的四象限倾斜跟踪传感器，包括波前倾斜校正器、成像透镜、四象限探测器、斜率计算器和自校正处理机，其特征在于：在传统的四象限倾斜跟踪传感器中加入了波前倾斜校正器和自校正处理器，通过自校正回路闭环工作校正四象限倾斜跟踪传感器的装配误差，并保持自校正处理机的输出电压不变，最后在波前倾斜校正器前输入待测波前，通过四象限探测器和斜率计算器测量待测波前的整体斜率。本发明能够校正传统四象限倾斜跟踪传感器的装配误差，为四象限倾斜跟踪传感器高精度测量待测波前整体斜率提供了条件。 |
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