| 专利名称 | 直线位移台运动平行度的非接触检测方法 | 申请号 | CN201310565740.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103630098A | 公开（授权）日 | 2014.03.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 范李立;步扬;王向朝 | 主分类号 | G01B21/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B21/02(2006.01)I | 专利有效期 | 直线位移台运动平行度的非接触检测方法 至直线位移台运动平行度的非接触检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种直线位移台运动平行度的非接触检测方法，检测装置包括隔震平台、转接架、螺钉、位移传感器、检测基准块。检测方法包括检测装置安装、测量和数据处理。本发明测量具有分辨率高、精度高、速度快、灵敏度高的特点；对测量环境如洁净度、振动要求相对较低。 |
1、源头对接，价格透明
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