| 专利名称 | 钨海绵基体去铜的方法 | 申请号 | CN201310208189.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103627919A | 公开（授权）日 | 2014.03.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明（设计）人 | 刘燕文;王小霞;朱虹;张明晨;李玉涛;徐伟;谷兵;陆玉新;方荣 | 主分类号 | C22C1/08(2006.01)I | IPC主分类号 | C22C1/08(2006.01)I;C22C9/00(2006.01)I;H01J9/02(2006.01)I | 专利有效期 | 钨海绵基体去铜的方法 至钨海绵基体去铜的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种钨海绵基体去铜的方法。该方法包括：将钨海绵基体放入真空腔内；将真空腔抽真空至5×10-4Pa以上；以及将钨海绵基体加热至1600℃～1900℃之间并保温，使钨海绵基体中的铜蒸发后从钨海绵基体表面溢出蒸发至真空腔内的冷凝器上。本发明简单易行、成本低，可以非常快速的将钨海绵基体中的铜去除干净，同时也避免了因化学去铜而带来的环境污染。 |
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