| 专利名称 | 低回差高重复扫描探针显微镜独立扫描器 | 申请号 | CN201310552279.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103616532A | 公开（授权）日 | 2014.03.05 | 申请（专利权）人 | 中国科学技术大学 | 发明（设计）人 | 王琦;陆轻铀 | 主分类号 | G01Q10/00(2010.01)I | IPC主分类号 | G01Q10/00(2010.01)I | 专利有效期 | 低回差高重复扫描探针显微镜独立扫描器 至低回差高重复扫描探针显微镜独立扫描器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种低回差高重复扫描探针显微镜独立扫描器，涉及扫描探针显微镜的扫描结构，包括XYZ压电扫描管、导轨架、滑杆、弹簧片，XYZ压电扫描管与滑杆共轴并且在一端相互固定，弹簧片将滑杆外壁平行地压于导轨架的导轨上，滑杆的两端皆伸出于导轨架的导轨长度以外。本发明具有结构简单、工作高度稳定、回差极小的优点。利用本发明首次制成了仅使用小尺寸XYZ压电扫描管就能以低电压进行扫描成像的扫描探针显微镜，解决了现有技术不能兼顾这两个有利条件的难题。另外，使用本发明也制成了无需隔音、减振也能出同样高质量原子分辨率图像的扫描探针显微镜。 |
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