| 专利名称 | 一种离子束抛光设备中工件夹具的定位装置 | 申请号 | CN201310586059.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN103612202A | 公开(授权)日 | 2014.03.05 | 申请(专利权)人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明(设计)人 | 付韬韬;张海波;王安定 | 主分类号 | B24B41/06(2012.01)I | IPC主分类号 | B24B41/06(2012.01)I | 专利有效期 | 一种离子束抛光设备中工件夹具的定位装置 至一种离子束抛光设备中工件夹具的定位装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种离子束抛光设备中工件夹具的定位装置,其采用水平固定安装的作为定位基准的环形定位盘和卡盘式工件夹具相互作用的方案实现工件夹具的定位。环形定位盘上表面有凸起的水平定位平面、沿定位盘周边对称布置的举升装置以及定位销,夹具上有能与定位盘上水平定位平面相贴合的定位平面以及能与定位盘上的定位销一一对应的定位孔。举升装置将装夹好工件的夹具托升到一定高度后慢慢下降,使两定位平面完全贴合及所有定位销插入定位孔,实现工件夹具的定位。本发明的定位基准在同一个部件上面,装调较为容易,只要调节好基准,夹具通过其重力作用就可完成定位,动作简单;定位运动速度可控,能缓慢地完成定位操作,能大幅降低和消除震动。 |
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