| 专利名称 | 一种非球面紫外光刻物镜 | 申请号 | CN201310566185.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103616757A | 公开（授权）日 | 2014.03.05 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 白瑜;邢廷文;林妩媚;朱红伟;吕保斌;邓超;廖志远 | 主分类号 | G02B13/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B13/18(2006.01)I;G02B13/14(2006.01)I;G02B13/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种非球面紫外光刻物镜 至一种非球面紫外光刻物镜 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提出了一种非球面紫外光刻物镜，用于将物平面的图像成像到像平面内。该非球面紫外光刻物镜，沿其光轴方向包括透射组1、透射组2、透射组3、透射组4、透射组5和透射组6，从光束入射方向依次排布透射组1具有负光焦度，透射组2具有正光焦度，透射组3具有负光焦度，透射组4具有正光焦度，透射组5具有正光焦度，透射组6具有正光焦度，本发明的非球面紫外光刻物镜具有成像质量好，结构紧凑，较高的光刻效率等优点。 |
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