| 专利名称 | 一种紫外光固化软印刷复合模板的制备方法 | 申请号 | CN201310655163.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103616796A | 公开（授权）日 | 2014.03.05 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 邓启凌;张满;史立芳;胡松;秦燕云;曹阿秀 | 主分类号 | G03F7/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种紫外光固化软印刷复合模板的制备方法 至一种紫外光固化软印刷复合模板的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种紫外光固化软印刷复合模板的制备方法，包括如下步骤：1）对表面含有浮雕微纳米结构的原始母板进行表面防粘处理；2）将巯基-烯材料均匀涂覆在步骤1）中的经过防粘处理的原始母板；3）将一块透明的弹性胶质材料覆盖在步骤2）中的巯基-烯材料上；4）利用紫外光对巯基-烯材料进行固化；5）固化成型后，将巯基-烯材料结构层和弹性胶质材料组成的复合微纳米结构与步骤1）中的原始母板分离；6）对步骤5）中的复合微纳米结构进行表面防粘处理，制备获得紫外光固化软印刷复合模板。本发明的显著特点是制作成本低廉，工艺简单，分辨率高，制备过程无需刻蚀和高真空条件，促进了软印刷技术在微纳结构加工领域的广泛应用。 |
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