| 专利名称 | 一种基于脉冲激光光源的反射率/透过率综合测量方法 | 申请号 | CN201310631614.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN103616164A | 公开(授权)日 | 2014.03.05 | 申请(专利权)人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明(设计)人 | 李斌成;祖鸿宇;韩艳玲 | 主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种基于脉冲激光光源的反射率/透过率综合测量方法 至一种基于脉冲激光光源的反射率/透过率综合测量方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种基于脉冲激光光源的反射率/透过率综合测量方法,步骤为:一束脉冲激光光束被分束为参考光束和探测光束,参考光束被聚焦到光电探测器直接探测,探测光束注入光学谐振腔。在测量反射率大于99%的光学元件时采用脉冲光腔衰荡技术,分别测量初始光学谐振腔输出信号的衰荡时间τ0和加入待测光学元件后测试光学谐振腔输出信号的衰荡时间τ1,计算得到待测光学元件反射率R。在R值小于99%时采用分光光度技术测量待测光学元件的反射率。移走光学谐振腔的输出腔镜,从待测光学元件反射的探测光被聚焦到光电探测器探测,记录探测光束和参考光束光强信号比值,通过定标获得待测光学元件反射率R。 |
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