| 专利名称 | 一种碎屑收集装置和包括该装置的EUV光源系统 | 申请号 | CN201320470778.X | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN203457399U | 公开（授权）日 | 2014.02.26 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 王宇;谢婉露;吴晓斌;张罗莎;陈进新;王魁波;罗艳 | 主分类号 | H05G2/00(2006.01)I | IPC主分类号 | H05G2/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种碎屑收集装置和包括该装置的EUV光源系统 至一种碎屑收集装置和包括该装置的EUV光源系统 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种碎屑收集装置。所述碎屑收集装置包括金属液滴产生装置(10)和金属液滴收集装置(11)，所述金属液滴产生装置(10)位于所述金属液滴收集装置(11)的正上方，且具有开口竖直向下的多个喷射口，每个喷射口可以喷射出具有一定间隔的金属液滴组成的金属液滴串。金属液滴收集装置(11)具有一个正对所述金属液滴帘(12)的液滴入口，使得所述金属液滴帘(12)流入该液滴入口后被收集。本实用新型能够有效地降低碎屑含量，能够应用于EUV光源系统中，从而有效地降低碎屑的污染和元件的损坏。 |
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