一种完全褪除工件表面类金刚石碳膜的方法

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专利名称 一种完全褪除工件表面类金刚石碳膜的方法 申请号 CN201310574291.0 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103603026A 公开(授权)日 2014.02.26 申请(专利权)人 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 发明(设计)人 张栋;汪爱英;孙丽丽;柯培玲 主分类号 C25F3/02(2006.01)I IPC主分类号 C25F3/02(2006.01)I 专利有效期 一种完全褪除工件表面类金刚石碳膜的方法 至一种完全褪除工件表面类金刚石碳膜的方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供了一种完全褪除工件表面类金刚石碳膜的方法。该方法首先将工件以氧等离子体轰击工件表面,然后以工件为阳极,室温下在酸性电解液中进行电解退镀,电解电压以速率为0.5V/次~2V/次缓慢逐次增加,每次电压值上升后保持0~15min,然后观察工件表面类金刚石碳膜是否褪尽,若未褪尽,则继续增压,直至电压值上升至10V~20V;若褪尽,或者当电压值上升至10V~20V时,则将电压值在0~5s内迅速降回0V,然后取出工件、清洗后观察,若仍未褪尽则重复氧等离子体轰击与电解退镀过程。实验证实,该方法能够完全褪尽工件表面类金刚石碳膜,并且对工件不产生腐蚀以及破坏,具有良好的应用前景。

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