| 专利名称 | 一种二自由度高精度大行程气浮工件台 | 申请号 | CN201310630092.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103592824A | 公开（授权）日 | 2014.02.19 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 周清华 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种二自由度高精度大行程气浮工件台 至一种二自由度高精度大行程气浮工件台 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种二自由度高精度大行程气浮工件台，包括大理石底座，X向运动台，Y向运动台；所述大理石底座位于X向运动台和Y向运动台的底部，用于支撑整个X向运动台和Y向运动台；Y向运动台架设在X向运动台上，Y向运动台、X向运动台通过X向运动台的X横梁实现耦合，完成X向运动向Y向运动台传递，使该工件台具有XY两自由度运动功能；Y向运动台架在X向运动台上，构成一个“H”型两自由度大行程气浮工件台；该工件台采用了直线电机驱动和无摩擦的气浮导轨导向，使系统可以实现高速度，大行程的运动和高精度的定位。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障