| 专利名称 | 阵列型微机电可变光衰减器 | 申请号 | CN201310561866.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103576243A | 公开（授权）日 | 2014.02.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 毛旭;吕兴东;魏伟伟;杨晋玲;杨富华 | 主分类号 | G02B6/26(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B6/26(2006.01)I;G02B26/02(2006.01)I | 专利有效期 | 阵列型微机电可变光衰减器 至阵列型微机电可变光衰减器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种阵列型微机电可变光衰减器。该阵列型微机电可变光衰减器通过使用固定遮光板与可动遮光块相结合的方法，有效低控制了光的散射和光束尺寸，实现了良好的光衰减性能。 |
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