| 专利名称 | 光学测量装置 | 申请号 | CN201210281702.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103575213A | 公开（授权）日 | 2014.02.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所;北京智朗芯光科技有限公司 | 发明（设计）人 | 吴文镜;李国光;张瑭;沙健;刘健鹏 | 主分类号 | G01B11/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/00(2006.01)I;G01B11/06(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I;G01N21/00(2006.01)I | 专利有效期 | 光学测量装置 至光学测量装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开光学测量装置，其包括测量仪本体、光源、具有至少5端口的W形光纤及光谱仪；本发明操作简单，提供的光学测量装置包含垂直入射和斜入射的两个测量装置，可用来测量单层或多层薄膜形成的三维结构的膜厚、临界尺度（Critical?Dimension）、空间形貌和材料特性，提高了样品测量的精度。另外，垂直入射部分还可以倾斜至54.7度，用来测量单晶硅太阳能样品。斜入射部分也可实现多角度的切换，摩擦片可以使整个切换工程更加平稳。 |
1、源头对接，价格透明
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