| 专利名称 | 一种挡光式微机电可变光衰减器 | 申请号 | CN201310510617.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103576241A | 公开（授权）日 | 2014.02.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 毛旭;吕兴东;魏伟伟;杨晋玲;杨富华 | 主分类号 | G02B6/26(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B6/26(2006.01)I | 专利有效期 | 一种挡光式微机电可变光衰减器 至一种挡光式微机电可变光衰减器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种挡光式微机电可变光衰减器，其包括：输入输出光纤、固定遮光板、可动MEMS器件、磁场产生装置和驱动电路；固定遮光板中心具有通光孔，驱动电路和固定遮光板的下表面与可动MEMS器件的上表面对准键合，可动MEMS器件中心具有运动遮光板，磁场产生装置为中心漏空结构，且可动MEMS器件和磁场产生装置的中心与通光孔的中心位于同一轴线；其中，光从输入光纤输入，通过固定遮光板的通光孔后，再经可动MEMS器件产生可控的光衰减后，由输出光纤输出；所述磁场产生装置提供与通过可动MEMS器件的电流相互作用产生洛伦兹力，驱动所述运动遮光板产生运动。本发明公开的可变光衰减器的光衰减量连续可调。 |
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