制作倒装集成LED芯片级光源模组的方法

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专利名称 制作倒装集成LED芯片级光源模组的方法 申请号 CN201310553600.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103579478A 公开(授权)日 2014.02.12 申请(专利权)人 中国科学院半导体研究所 发明(设计)人 李璟;王国宏;王军喜;李晋闽 主分类号 H01L33/62(2010.01)I IPC主分类号 H01L33/62(2010.01)I;H01L33/64(2010.01)I 专利有效期 制作倒装集成LED芯片级光源模组的方法 至制作倒装集成LED芯片级光源模组的方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供了一种制作倒装集成LED芯片级光源模组的方法。该方法包括:步骤A,在衬底上生长GaN材料,形成GaN外延结构;步骤B,对GaN外延结构进行深刻蚀工艺,形成多个独立的小LED材料结构;步骤C,对多个独立的小LED材料结构进行倒装LED芯片制备工艺,制备多个LED芯片的,与衬底接触的P电极和N电极;步骤D,对多个倒装LED芯片的P电极和N电极进行串并连工艺,形成倒装LED集成芯片;以及步骤E:对衬底抛光,喷涂荧光粉,切割成一颗颗倒装集成芯片,即倒装集成LED芯片级光源模组。采用本发明方法制备的倒装集成LED芯片级光源具有散热好、可大电流驱动、光效高等优点。

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