| 专利名称 | W型光纤束及使用W型光纤束的半导体薄膜光学测量系统 | 申请号 | CN201210281679.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103575392A | 公开（授权）日 | 2014.02.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所;北京智朗芯光科技有限公司 | 发明（设计）人 | 李国光;刘涛;吴文镜;赵江艳 | 主分类号 | G01J3/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01J3/02(2006.01)I;G01J3/28(2006.01)I;G02B6/26(2006.01)I;G02B6/04(2006.01)I | 专利有效期 | W型光纤束及使用W型光纤束的半导体薄膜光学测量系统 至W型光纤束及使用W型光纤束的半导体薄膜光学测量系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开一种W型光纤束，包括：第I子光纤，第II子光纤，第III子光纤和第IV子光纤；所述第I子光纤与所述第II子光纤共用输入端口；所述第III子光纤和所述第IV子光纤共用输出端口；所述第II子光纤的输出端口和所述第III子光纤的输入端口捆绑连接，形成输入输出端口；所述第I子光纤和第Ⅳ子光纤的另一端分别连接一光纤端口；所述第I子光纤，第II子光纤，第III子光纤和第IV子光纤构成W型光纤束。还公开一种使用W型光纤束的半导体薄膜光学测量系统。本发明能减少系统光源和光谱计的数量，提高测量精度的同时达到降低系统成本的效果。 |
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