| 专利名称 | TE偏振的石英1×2分束斜光栅 | 申请号 | CN201310473004.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103576220A | 公开（授权）日 | 2014.02.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 周常河;李树斌 | 主分类号 | G02B5/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B5/18(2006.01)I | 专利有效期 | TE偏振的石英1×2分束斜光栅 至TE偏振的石英1×2分束斜光栅 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种用于1064纳米波长的TE偏振的石英1×2分束斜光栅，该分束光栅的光栅周期为798～802纳米，倾斜角为14～16度，脊深为755～759纳米，占空比为0.5。当TE偏振光在一级布拉格角入射（23.41度）时，其透射光将分成等强度的2束光，这2束光总的衍射效率大于98%，并且其均匀性优于3%。本发明TE偏振倾斜石英1×2分束光栅由电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺加工而成，取材方便，造价小，能大批量生产，具有重要的实用前景。 |
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