| 专利名称 | 一种机械手操作系统 | 申请号 | CN201310522337.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103560102A | 公开（授权）日 | 2014.02.05 | 申请（专利权）人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 发明（设计）人 | 吴燕华;李智;曾中明;张宝顺;杨辉 | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/677(2006.01)I | 专利有效期 | 一种机械手操作系统 至一种机械手操作系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明揭示了一种机械手操作系统，包括真空腔室、位于真空腔室内的双头机械手以及位于真空腔室外的驱动装置，所述的双头机械手和驱动装置之间设有传动装置，驱动装置通过传动装置将动力传递至双头机械手，并驱动所述双头机械手进行双向伸缩、升降和／或旋转，所述传动装置包括至少一个波纹管，该波纹管密封于所述驱动装置和双头机械手之间。由于采用了波纹管密封，故而能在真空度优于10-8Pa的超高真空环境中使用。又由于双头机械手的双头伸缩模式能传送两种不同类型的物品，既提高了操作效率，又提高了灵活性，比如其一头可用来传送较重的样品托，另一头可用来传送较小的样品。而且，最大传送距离大于真空腔室的半径，可达到腔体半径的1.6倍，最大程度的利用所在腔室的空间。 |
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