一种在透射电镜中原位变温测量光谱的装置

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专利名称 一种在透射电镜中原位变温测量光谱的装置 申请号 CN201310484579.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103558232A 公开(授权)日 2014.02.05 申请(专利权)人 中国科学院物理研究所 发明(设计)人 杨是赜;王恩哥;田学增;许智;白雪冬 主分类号 G01N23/00(2006.01)I IPC主分类号 G01N23/00(2006.01)I 专利有效期 一种在透射电镜中原位变温测量光谱的装置 至一种在透射电镜中原位变温测量光谱的装置 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开一种在透射电镜中原位变温测量光谱的装置,其通过制冷剂循环对被测样品进行冷却,通过加热电阻丝对被测样品进行加热,通过测温元件对被测样品进行测温,通过控温仪对被测样品的温度进行控制,实现了在透射电镜中原位对被测样品温度的改变和控制;然后,用透射电子显微镜的电子束轰击被测样品,即可原位实现在不同温度条件下对被测样品光谱性质的测量,同时,该过程中透射电子显微镜还可以记录被测样品的结构和成分信息,从而实现对被测样品性能的综合表征。本发明解决了现有原位透射电子显微镜技术尚不能原位改变被测样品的温度,并测量其光谱的问题,且不涉及对透射电子显微镜本体的改造,具有成本低,易于安装、使用的优点。

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