激光功率监测组件及应用其的激光发射模块、光放大器

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专利名称 激光功率监测组件及应用其的激光发射模块、光放大器 申请号 CN201310529170.4 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103557936A 公开(授权)日 2014.02.05 申请(专利权)人 中国科学院半导体研究所 发明(设计)人 常明超;刘宇;谢亮 主分类号 G01J1/42(2006.01)I IPC主分类号 G01J1/42(2006.01)I;H01S5/02(2006.01)I;H01S5/40(2006.01)I 专利有效期 激光功率监测组件及应用其的激光发射模块、光放大器 至激光功率监测组件及应用其的激光发射模块、光放大器 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供了一种激光功率监测组件及应用其的激光发射模块、光放大器。该激光功率监测组件包括:纳米线光栅,具有一定厚度,其前表面具有光栅结构,激光以入射角α由其背面入射,在光栅结构作用下,部分入射激光由该纳米线光栅厚度方向引出;以及光探测器,其光敏面正对纳米线光栅的厚度方向设置,用于探测由纳米线光栅厚度方向出射激光的功率。本发明通过加入纳米线光栅,将预设比例的入射激光引入偏离入射方向的侧面,由放置于侧面的光探测器来侦测激光功率,由该激光功率可以得出整个入射激光的功率,金属纳米线光栅和光探测器均不会阻挡入射激光,方便了光探测器的布局。

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