功率半导体器件热阻测试装置

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专利名称 功率半导体器件热阻测试装置 申请号 CN201320379046.X 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN203414568U 公开(授权)日 2014.01.29 申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 温景超;王立新;陆江 主分类号 G01R31/26(2014.01)I IPC主分类号 G01R31/26(2014.01)I;G01N25/20(2006.01)I 专利有效期 功率半导体器件热阻测试装置 至功率半导体器件热阻测试装置 法律状态 授权 说明书摘要 本实用新型公开了一种功率半导体器件热阻测试装置,其特征在于,包括:金属散热基板,用于保证无引脚芯片载体器件进行良好散热,由上基板和下基板组成,固定在恒温平台上;印刷电路板,用于引出无引脚芯片载体器件管脚,与金属散热基板上下叠放在一起;T型热偶,用于测量无引脚芯片载体器件下表面的温度,安置于金属散热基板中。

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