| 专利名称 | 一种极紫外辐照损伤测试设备 | 申请号 | CN201320454021.1 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN203414392U | 公开（授权）日 | 2014.01.29 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 陈进新;吴晓斌;谢婉露;张罗莎;罗艳;王魁波 | 主分类号 | G01N17/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N17/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种极紫外辐照损伤测试设备 至一种极紫外辐照损伤测试设备 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种极紫外辐照损伤测试设备，EUV光源室用于容纳EUV光源，EUV光源用于辐射出宽谱近软X射线；滤波片室用于放置滤波片，滤波片用于将宽谱近软X射线滤波成窄谱EUV辐照；收集镜室用于放置收集镜，收集镜用于将EUV辐照汇聚到样品室中；光谱检测室用于安装一个反射镜和一个光谱仪)，反射镜用于将来自收集镜室的EUV辐照反射到光谱议；样品室具有一个三维平移台，其用于安装所述样品、CCD和能量计，并且能够使样品、CCD和能量计轮流移动至能够接受EUV辐照的同一位置。本实用新型能够得到不同样品的极紫外辐照损伤情况。 |
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