| 专利名称 | 基于达曼光栅的同步相移干涉装置 | 申请号 | CN201310460474.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103542803A | 公开（授权）日 | 2014.01.29 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 张宁;周煜;刘立人;孙建锋;宋强;许倩 | 主分类号 | G01B9/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B9/02(2006.01)I | 专利有效期 | 基于达曼光栅的同步相移干涉装置 至基于达曼光栅的同步相移干涉装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种基于达曼光栅的同步相移干涉装置，该装置由激光器，扩束准直单元，分光棱镜，四象限相位板，合束棱镜，第一反射镜，待测物体，达曼光栅分束整形单元，第二反射镜，会聚透镜，探测器阵列，计算机构成。本发明大大降低了系统的波像差，对偏振不敏感，因而不存在偏振像差，测量精度高，易于使用。 |
1、源头对接，价格透明
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