埋入式电阻合金材料、埋入式电阻薄膜及其制备方法

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专利名称 埋入式电阻合金材料、埋入式电阻薄膜及其制备方法 申请号 CN201310530701.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103540799A 公开(授权)日 2014.01.29 申请(专利权)人 中国科学院深圳先进技术研究院 发明(设计)人 孙蓉;苏星松;符显珠;郭慧子 主分类号 C22C19/03(2006.01)I IPC主分类号 C22C19/03(2006.01)I;C23C18/50(2006.01)I;C23C18/30(2006.01)I;H01C7/00(2006.01)I;H01C17/18(2006.01)I 专利有效期 埋入式电阻合金材料、埋入式电阻薄膜及其制备方法 至埋入式电阻合金材料、埋入式电阻薄膜及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种埋入式电阻合金材料、埋入式电阻薄膜及其制备方法。该埋入式电阻合金材料按质量百分比计,包括镍80~97%、钼0.1~8%和磷2~12%。将该埋入式合金材料制成埋入式电阻薄膜,经实验表明,该埋入式电阻薄膜具有较好的耐蚀性、热稳定性和抗老化性能。

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