一种对RRAM器件的脉冲参数进行测试的电路

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专利名称 一种对RRAM器件的脉冲参数进行测试的电路 申请号 CN201310491719.5 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103531250A 公开(授权)日 2014.01.22 申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 龙世兵;王国明;张美芸;李阳;王明;许晓欣;刘若愚;李丛飞;刘红涛;孙鹏霄;吕杭炳;刘琦;刘明 主分类号 G11C29/56(2006.01)I IPC主分类号 G11C29/56(2006.01)I 专利有效期 一种对RRAM器件的脉冲参数进行测试的电路 至一种对RRAM器件的脉冲参数进行测试的电路 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种对RRAM器件的脉冲参数进行测试的电路,包括半导体参数分析仪、脉冲源、探针平台和双通道示波器,半导体参数分析仪作为控制平台,同时连接于探针台和脉冲源,并通过配置脉冲源参数控制脉冲源的波形;示波器是当脉冲源向待测RRAM器件发出脉冲时,捕获脉冲图形;示波器具有第一通道和第二通道,第一通道具有第一内阻R1,第二通道具有第二内阻R2,待测RRAM器件与示波器第二通道的第二内阻R2串联,脉冲源与待测RRAM器件连接,示波器的第一通道并联连接于待测RRAM器件与第二内阻R2的串联支路。利用本发明,解决了RRAM器件在脉冲测试过程中不能限流的问题,使RRAM器件在脉冲测试时得到稳定的脉冲测试电压,而不会因编程或擦除后影响整个电路的稳定。

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