| 专利名称 | 一种利用电致发光谱测量氮化物LED内量子效率的方法 | 申请号 | CN201310529305.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103528802A | 公开（授权）日 | 2014.01.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 魏学成;赵丽霞;王莉;孔庆峰;卢鹏志;王军喜;曾一平;李晋闽 | 主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种利用电致发光谱测量氮化物LED内量子效率的方法 至一种利用电致发光谱测量氮化物LED内量子效率的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种测量氮化物LED内量子效率的方法，包括如下步骤：制作多个氮化物LED测试样品，使之自下至上依次为衬底、n型层、有源区、p型层和ITO层；从各测试样品表面到n型层刻蚀出一个台面，在该台面上蒸镀上n电极，在ITO层表面蒸镀p电极，在除电极外四周其它区域蒸镀一层光吸收抑制层，在各测试样品表面中心位置光刻出一定孔径的出光孔；计算测试样品的光提取效率；利用积分球测量各测试样品，获得在不同电流密度下的不同孔径内的光功率；通过光功率计算测试样品的外量子效率，并通过所得到的光提取效率计算内量子效率。本发明能够消除光致发光谱测量内量子效率带来的负面影响。 |
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