| 专利名称 | 一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法 | 申请号 | CN201210204296.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103505980A | 公开（授权）日 | 2014.01.15 | 申请（专利权）人 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 发明（设计）人 | 郭庆;任泽峰 | 主分类号 | B01D53/04(2006.01)I | IPC主分类号 | B01D53/04(2006.01)I | 专利有效期 | 一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法 至一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法，采用以下方法：将抽真空设备接入外部的真空容器，通过真空泵抽气，检漏无漏点；利用外部加热的方式烘烤抽真空设备和外部的真空容器，达到超高真空要求，依次向液氮薄壁桶注入液氮，待液氮薄壁筒和无氧铜套温度恒定后（～-180℃）；使用钛升华泵90秒，稳定约半小时，可实现真空腔室真空≤15×10-13torr。本发明的优点是操作简便，成本低，效率高。 |
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