一种高纯碳化硅原料的制备方法

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专利名称 一种高纯碳化硅原料的制备方法 申请号 CN201210202086.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103508454A 公开(授权)日 2014.01.15 申请(专利权)人 上海硅酸盐研究所中试基地;中国科学院上海硅酸盐研究所 发明(设计)人 陈建军;王辉;孔海宽;忻隽;刘熙;肖兵;杨建华;施尔畏 主分类号 C01B31/36(2006.01)I IPC主分类号 C01B31/36(2006.01)I 专利有效期 一种高纯碳化硅原料的制备方法 至一种高纯碳化硅原料的制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供一种高纯碳化硅原料的制备方法,所述方法包括如下步骤:提供高纯硅粉和高纯碳粉;所述高纯硅粉和高纯碳粉充分混合后放置于坩埚,于1400-2200℃的高温炉中形成一次碳化硅料,所述一次碳化硅料压碎后在氧化炉中经过600-1400℃的高温氧化,形成二次碳化硅料;所述二次碳化硅料在高真空炉中经过800-1600℃高温真空脱气,形成三次碳化硅料;所述三次碳化硅料经过湿法化学冶金处理,得到高纯碳化硅原料。

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