专利名称 | 一种ZnSe基片的红外宽光谱分光膜 | 申请号 | CN201320360191.3 | 专利类型 | 实用新型 | 公开(公告)号 | CN203385879U | 公开(授权)日 | 2014.01.08 | 申请(专利权)人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明(设计)人 | 于天燕;秦杨;刘定权 | 主分类号 | G02B5/08(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B5/08(2006.01)I;B32B9/04(2006.01)I | 专利有效期 | 一种ZnSe基片的红外宽光谱分光膜 至一种ZnSe基片的红外宽光谱分光膜 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种ZnSe基片的红外宽光谱分光膜,该分光膜的工作角度为0—30°,镀制在ZnSe基底上,以Ge和ZnSe为高低折射率材料,采用高低折射率交替的膜系设计方法获得折射率的匹配。大角度入射红外宽光谱分光膜在制备过程中采用了离子源辅助、合适的基底温度等特定工艺。该分光膜在入射角为0—30°时,能够实现均衡分光。本实用新型分光膜性能稳定,适合于干涉式大气探测技术中干涉系统的宽光谱分光使用。 |
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