| 专利名称 | 一种带有环境反馈的自动干涉检测系统及方法 | 申请号 | CN201310473266.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103499309A | 公开（授权）日 | 2014.01.08 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 贾辛;徐富超;谢伟民;邢廷文 | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | 专利有效期 | 一种带有环境反馈的自动干涉检测系统及方法 至一种带有环境反馈的自动干涉检测系统及方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种带有环境反馈的自动干涉检测系统及方法，自动干涉检测系统包括了独立地基，第一振动测量探头，主动隔振系统，大理石平台，第二振动测量探头，第三振动测量探头，调整架，转台，待测镜架，第四振动测量探头，第一导轨，第二导轨，干涉仪衍架，温度测量探头，外壳，干涉仪测量头，第五振动测量头，计算机组成。第一振动测量探头用于测量地面垂直振动，第二振动测量探头用于测量水平振动，第三振动测量探头用于测量平台台面垂直振动，第四振动测量探头用于测量待测镜架上振动，第五振动测量探头用于测量干涉仪测量头上垂直振动，温度测量探头用于测量干涉仪测量头和待测镜架之间的温度。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障