| 专利名称 | 一种光学元件表面高频振动共形加工装置和方法 | 申请号 | CN201310473603.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103495909A | 公开（授权）日 | 2014.01.08 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 施春燕;万勇建;张亮;徐清兰 | 主分类号 | B24B1/04(2006.01)I | IPC主分类号 | B24B1/04(2006.01)I | 专利有效期 | 一种光学元件表面高频振动共形加工装置和方法 至一种光学元件表面高频振动共形加工装置和方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明是一种光学元件表面高频振动共形加工装置和方法，该方法基于精密气缸、龙门架、高速马达、精密变频器、凸轮、摆臂、磨头和旋转台等部件，实现具有基底层、柔性层和抛光层的抛光磨头以一定压力紧贴工件表面做高频振动抛光。本发明高频振动共形抛光方法采用全口径共形覆盖式抛光，不受待加工工件表面特征的限制，能够对各种异形光学表面进行抛光，实现对待加工表面的高速材料去除，抛光效率较常规方法提高10-50倍，同时对工件表面中高频误差具有平滑作用，适应于轴对称的中小口径平面、球面、非球面元件、异形元件的快速抛光和中高频误差抑制。 |
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