| 专利名称 | 一种小尺寸银纳米颗粒的制备方法 | 申请号 | CN201310454566.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103489754A | 公开（授权）日 | 2014.01.01 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 孙海涛;杨洪璋;路程;刘琦;吕杭炳;龙世兵;谢常青;刘明 | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/02(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I | 专利有效期 | 一种小尺寸银纳米颗粒的制备方法 至一种小尺寸银纳米颗粒的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种小尺寸银纳米颗粒的制备方法，包括:衬底预备;光刻形成惰性电极图形;电子束蒸发惰性电极金属;剥离形成惰性电极;套刻形成活性电极图形;电子束蒸发活性电极金属;剥离形成两端电极平面器件;以及在电场激励下形成银金属纳米颗粒。利用本发明，通过电化学反应的方法，调整电场激励过程中的电流值，可以获得不同尺寸的金属纳米颗粒，并且在不同的衬底材料上金属纳米颗粒的分布也不同，既可以获得链状排布的金属纳米颗粒又可以获得面分布的金属颗粒，实现极小尺寸金属纳米颗粒，流程简单，可控性较强，所形成的金属纳米颗粒不受化学试剂的污染与影响。 |
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