软X射线与极紫外复合型望远镜光轴和焦面的调整方法

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专利名称 软X射线与极紫外复合型望远镜光轴和焦面的调整方法 申请号 CN201310421130.8 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103487929A 公开(授权)日 2014.01.01 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 刘鹏;赵大春;王晓光;陈波 主分类号 G02B23/02(2006.01)I IPC主分类号 G02B23/02(2006.01)I;G02B7/182(2006.01)I 专利有效期 软X射线与极紫外复合型望远镜光轴和焦面的调整方法 至软X射线与极紫外复合型望远镜光轴和焦面的调整方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 软X射线与极紫外复合型望远镜光轴和焦面的调整方法涉及复合型望远镜领域,该方法包括如下步骤:步骤一:使用ZYGO干涉仪调试掠入射光学系统,确定掠入射光学系统的光轴和焦面的位置;步骤二:对正入射光学系统进行调试,确定正入射光学系统的光轴和焦面的位置;步骤三:将掠入射光学系统和正入射光学系统组装在一起,将两光学系统的光轴和焦面调到误差允许的范围内。该方法通过以掠入射光学系统和正入射光学系统共轴和共焦面为手段,实现软X射线与极紫外复合型望远镜使用同一个探测器对两个波段图像的探测。

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