| 专利名称 | 一种气体分析装置及方法 | 申请号 | CN201310430575.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103487593A | 公开（授权）日 | 2014.01.01 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 宗明成;徐天伟;黄有为;马向红;魏志国 | 主分类号 | G01N35/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N35/00(2006.01)I;G01N35/10(2006.01)I;G01N1/22(2006.01)I;G01N1/28(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 专利有效期 | 一种气体分析装置及方法 至一种气体分析装置及方法 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明提供一种具有原位标定功能的气体分析装置。所述装置包括：取样室，与待测腔室通过第一阀门相连，用于引入待测腔室的样品气体；分析室，与取样室通过第二阀门相连，分析室上设有真空规管，用于监测分析室的真空度；气体分析器，设于分析室内，用于对待分析气体进行分析测试；标定模块，用于向气体分析器提供标准气体，对气体分析装置进行定量标定。本发明还提供一种气体分析方法。本发明通过标定模块对气体分析装置进行定期标定，通过加热器进行烘烤除气，并通过吹扫放气模块进行气体吹扫及保护气充入，保持系统持续具备良好的测试本底，保证测试准确性，可实现十亿分之一量级的气体浓度测试，尤其适用于对EUV真空环境进行气体分析检测。 |
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