| 专利名称 | 用于制备埋入式薄膜电阻的活化剂、埋入式薄膜电阻的制备方法及埋入式薄膜电阻 | 申请号 | CN201310398877.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103484840A | 公开（授权）日 | 2014.01.01 | 申请（专利权）人 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 发明（设计）人 | 孙蓉;苏星松;符显珠;郭慧子 | 主分类号 | C23C18/30(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C18/30(2006.01)I;C23C18/34(2006.01)I;H01C7/00(2006.01)I | 专利有效期 | 用于制备埋入式薄膜电阻的活化剂、埋入式薄膜电阻的制备方法及埋入式薄膜电阻 至用于制备埋入式薄膜电阻的活化剂、埋入式薄膜电阻的制备方法及埋入式薄膜电阻 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种用于制备埋入式薄膜电阻的活化剂、埋入式薄膜电阻的制备方法及埋入式薄膜电阻。该用于制备埋入式薄膜电阻的活化剂包括水、硫酸锌、DL-苹果酸钠和锌粉，其中，所述硫酸锌的浓度为20～200g/L、所述DL-苹果酸钠的浓度为10～50g/L、所述锌粉的浓度为5～30g/L。该活化剂不含有氯和钯。经实验证明，采用该活化剂对衬底进行活化后，能够在较低温度下在衬底上化学镀制镍磷薄膜，能耗较低，且不在化学镀液中引入氯，保证了镀液的稳定性。使用上述活化剂进行活化，有利于降低埋入式薄膜电阻的制备成本，并由于保证了镀液的稳定性，有利于保证镍磷薄膜的质量，从而保证埋入式薄膜电阻具有较好的性能。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障