| 专利名称 | 一种定量供气系统 | 申请号 | CN201320266380.4 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN203363652U | 公开（授权）日 | 2013.12.25 | 申请（专利权）人 | 中国科学院等离子体物理研究所 | 发明（设计）人 | 谢远来;胡纯栋;汪金新;程斌;陶玲;梁立振;李军;杨思皓;谢亚红;刘胜;蒋才超 | 主分类号 | F17C5/00(2006.01)I | IPC主分类号 | F17C5/00(2006.01)I;F17C13/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种定量供气系统 至一种定量供气系统 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种定量供气系统，包括有储气罐以及气体输送管道，其特征在于：所述气体输送管道的一端与储气罐的出气接口连接，另一端设有快接接头，所述储气罐的出气接口上设有减压阀，所述气体输送管道上从进气端至出气端依次安装有缓冲罐、电磁开关阀、针阀、截止阀，所述的气体输送管道粗细均匀，所述减压阀位高精度减压阀，所述电磁开关阀为电磁力控制的开关阀，所述针阀为具有微调作用行程可指示的可调针阀，所述截止阀为真空截止阀。本实用新型结构设计合理，解决了现有技术中不能有效控制在复杂电磁环境下的高精度定量供气问题，安装方便，工作稳定可靠，适用于各种气体的定量供应场合。 |
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