| 专利名称 | 测量波像差的系统 | 申请号 | CN201320339373.2 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN203365912U | 公开（授权）日 | 2013.12.25 | 申请（专利权）人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 赵卫;张周锋;谢永军;康福增 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 测量波像差的系统 至测量波像差的系统 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及一种测量波像差的系统，包括干涉仪以及与干涉仪处于同一光路上的平面反射系统；待测光学系统置于干涉仪和平面反射系统之间；平面反射系统是液体反射镜；干涉仪、待测光学系统以及液体反射镜自上而下依次设置在同一光路上。本实用新型提供了一种不仅可用来检测小口径光学系统波像差，同样适用于大口径光学系统波像差检测的系统。 |
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