| 专利名称 | 一种投影光学系统 | 申请号 | CN201310428635.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103472586A | 公开（授权）日 | 2013.12.25 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 冉英华;邢廷文;林妩媚;吕保斌;陈红丽;张海波;白瑜 | 主分类号 | G02B27/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B27/18(2006.01)I;G02B27/00(2006.01)I;G02B7/04(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种投影光学系统 至一种投影光学系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种投影光学系统，用于将物面的图像成像到像面。该系统沿光轴方向依次安置第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组，四个透镜组处于同一光轴。第一透镜组具有负光焦度，第二透镜组具有正光焦度，第三透镜组具有负光焦度，第四透镜组具有正光焦度。本发明的投影光学系统既能有效地减小系统共轭距和减少镜片数量、降低系统的加工、检测、装调成本，同时也能提供较大的物方和像方工作距，满足高分辨率和高像质要求。 |
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