| 专利名称 | 透镜X、Y、θZ三自由度微动调整装置 | 申请号 | CN201310442669.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103472560A | 公开（授权）日 | 2013.12.25 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 赵磊;杨怀江;隋永新;张德福 | 主分类号 | G02B7/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B7/02(2006.01)I | 专利有效期 | 透镜X、Y、θZ三自由度微动调整装置 至透镜X、Y、θZ三自由度微动调整装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 透镜X、Y、θZ三自由度微动调整装置，属于光刻物镜结构设计与像差补偿领域，为解决现有技术光学元件X、Y、θZ三自由度微动调整装置加工工艺难度大、加工成本高的问题，该装置包括透镜、镜框和三个驱动器，所述镜片与镜框之间通过胶粘的方式连接，所述三个驱动器固定在镜框上，其特征在于，所述镜框为镜框内环、镜框外环和三处周向均布的折叠铰链组成的一体化结构，所述镜框内环上周向均布有三处驱动器施力块，所述透镜与镜框内环之间通过胶粘的方式连接；所述三个驱动器固定在镜框外环上，驱动器的输入位移作用在对应的驱动器施力块上；所述折叠铰链由切向弹片和径向弹片组成，所述切向弹片与镜框内环相连，所述径向弹片与镜框外环相连。 |
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