| 专利名称 | 双电机光学元件轴向调节装置 | 申请号 | CN201310459341.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103472555A | 公开（授权）日 | 2013.12.25 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 彭海峰;巩岩;孙振;华洋洋;郭抗;倪明阳 | 主分类号 | G02B7/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B7/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 双电机光学元件轴向调节装置 至双电机光学元件轴向调节装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 双电机光学元件轴向调节装置，涉及深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域，为解决现有光学元件调心装置中存在的驱动器数量较多，且机构复杂，加工难度大的问题，该装置包括四个电容传感器、镜框、八个联接螺钉、柔顺驱动块和两个压电驱动器，所述四个电容传感器与镜框上表面平行放置，沿镜框上面边缘均布，且与柔顺驱动块的各直角边中点对应；镜框与柔顺驱动块通过联接螺钉固定；两个压电驱动器分别设置在柔顺驱动块的对角位置；镜框内放置光学元件；该装置在快速精密的调整的同时，避免了机械式铰链存在的摩擦、润滑、滞后的问题；柔顺驱动块作用在镜框上，能够有效降低调整力对光学元件面型的破坏；结构简单、需要电机数量少、加工成本低。 |
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